-
1 ионная имплантация
Ионная имплантацияСпособ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до 1,0 мкм, формируя в ней особое структурно-фазовое состояние. Толщина слоя зависит от энергии и от массы ионов, а также от массы атомов мишени. Широко используется для формирования легированных областей на поверхности полупроводника при создании полупроводниковых приборов. Является стандартным технологическим приемом, используемым в планарной технологии.Англо-русский словарь по нанотехнологиям > ионная имплантация
-
2 горячая ионная имплантация
hot ion implantationБольшой англо-русский и русско-английский словарь > горячая ионная имплантация
-
3 двойная ионная имплантация
Большой англо-русский и русско-английский словарь > двойная ионная имплантация
-
4 локальная ионная имплантация
Большой англо-русский и русско-английский словарь > локальная ионная имплантация
-
5 многократная ионная имплантация
Большой англо-русский и русско-английский словарь > многократная ионная имплантация
-
6 однократная ионная имплантация
Большой англо-русский и русско-английский словарь > однократная ионная имплантация
-
7 горячая ионная имплантация
( в горячую подложку) hot ion implantationАнгло-русский словарь технических терминов > горячая ионная имплантация
-
8 двойная ионная имплантация
Англо-русский словарь технических терминов > двойная ионная имплантация
-
9 локальная ионная имплантация
Англо-русский словарь технических терминов > локальная ионная имплантация
-
10 многократная ионная имплантация
Англо-русский словарь технических терминов > многократная ионная имплантация
-
11 однократная ионная имплантация
Англо-русский словарь технических терминов > однократная ионная имплантация
-
12 ion implantation
ионная имплантация -
13 ion beam implantation
English-russian dictionary of physics > ion beam implantation
-
14 ion implantation
-
15 ion implantation
-
16 ion implantation
-
17 ion implantation
English-Russian dictionary on household appliances > ion implantation
-
18 all-ion-implant process
English-Russian dictionary of microelectronics > all-ion-implant process
-
19 implant doping
English-Russian dictionary of microelectronics > implant doping
-
20 ion implant
English-Russian dictionary of microelectronics > ion implant
См. также в других словарях:
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… … Физическая энциклопедия
ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… … Справочник технического переводчика
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твердое тело при бомбардировке его поверхности направленным пучком ускоренных ионов. Широко применяется в технологии микроэлектроники для создания p n переходов, гетеропереходов и … Энциклопедический словарь
Ионная имплантация — Схема установки для ионной имплантации и селекции ионов по энергии. Ионная имплантация способ введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ег … Википедия
ионная имплантация — Термин ионная имплантация Термин на английском ion implantation Синонимы ионное внедрение, ионное легирование Аббревиатуры Связанные термины биосовместимые покрытия Определение введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Ионная имплантация — 7. Ионная имплантация процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная… … Официальная терминология
Ионная имплантация — Ion implantation Ионная имплантация. Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под… … Словарь металлургических терминов
ионная имплантация — Ion Implantation Ионная имплантация Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ионная имплантация — joninė implantacija statusas T sritis chemija apibrėžtis Priemaišų atomų įterpimas į kietąjį kūną bombarduojant jo paviršių pagreitintų jonų srautu. atitikmenys: angl. ionic implantation rus. ионная имплантация … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
ионная имплантация для формирования эмиттера — emiterio jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. emitter ion implantation vok. Emitterimplantation, f rus. ионная имплантация для формирования эмиттера, f pranc. implantation ionique pour formation des zones… … Radioelektronikos terminų žodynas
ионная имплантация через защитный слой оксида — jonų implantavimas pro apsauginį oksido sluoksnį statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. field oxide ion implantation vok. Feldoxidionenimplantation, f rus. ионная имплантация через защитный слой оксида, f pranc. implantation… … Radioelektronikos terminų žodynas